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高頻高真空金屬陶瓷封接設(shè)備

服務(wù)支持：

  • 產(chǎn)品描述

  •  項目

    		配置和指標

    1

    		系統(tǒng)控制
    工業(yè)級工控觸摸屏，標配真空界面、金屬化工藝參數(shù)操作及顯示、高頻封接工藝參數(shù)操作及顯示等。標準電控柜，配有過壓、欠壓保護, 相極保護, 安全互鎖, 緊急停車按鈕等安保器件，具有電源分配供電及電氣單元的安裝與鏈接。

    2

    		陶瓷金屬化室
    工藝腔體材質(zhì)為304不銹鋼，內(nèi)外電解拋光，1進出樣品前開門，位于手套箱內(nèi)，1檢修維護后開門，均帶觀察窗，內(nèi)部防污玻璃可更換，預(yù)留多個法蘭接口。

    2.1

    		真空系統(tǒng)
    真空配置抽速35m3/h渦旋干泵，氣動閥控制；抽速4320m3/h磁懸浮分子泵，插板閥控制。極限真空度≤ 2E-7 Torr，配大氣到2E-7Torr寬量程復合真空計。若干套氣動截止閥控制充放氣和工藝氣體引入。1流量控制器標定H2，量程范圍0~200sccm，1路流量控制器標定N2，量程范圍0~500sccm。

    2.2

    		 工藝配置
    配水冷電極3套；金屬加熱帶3組，加熱溫度1800℃±5℃；配PID閉環(huán)控溫20KW溫控加熱電源1臺，溫控精度±2攝氏度；配全金屬隔熱屏1套；安裝骨架+4層Mo屏+4層高溫不銹鋼屏，配耐高溫物料承載架，Mo制金屬承重體及托盤。

    3

    		高頻感應(yīng)封接室
    工藝腔體材質(zhì)為304不銹鋼，內(nèi)外電解拋光，1進出樣品前開門，位于手套箱內(nèi)，1檢修維護后開門，均帶觀察窗，內(nèi)部防污玻璃可更換，預(yù)留多個法蘭接口。

    3.1

    		真空系統(tǒng)
    真空配置抽速20m3/h渦旋干泵，氣動閥控制；抽速2232m3/h磁懸浮分子泵，插板閥控制。極限真空度≤ 2E-7 Torr，配寬量程復合真空計，從大氣到2E-7Torr。若干套氣動截止閥控制充放氣和工藝氣體引入。

    3.2

    		工藝配置
    配高頻水冷電極2套；配高頻電感線圈1組，適用頻率40KHz；配電感線圈升降機構(gòu)1套，升降高度200mm；配10KW高頻電源1臺，電源輸出正弦波40KHz，電流輸出調(diào)整2A~50A；配電源輸出控制器，最大控制電流50A，接觸電阻<0.005Ω，時間控制范圍1s~180s，輸入端帶瞬變阻尼器；設(shè)工件夾持、定位裝置，配烘烤照明電源1.6KW/80V；手動可調(diào)。

    3.3

    		手套箱
    設(shè)備倉手套箱長1500mm ，寬330mm，四手套位，該倉安裝金屬化真空室和封接真空室進出料門，下底部設(shè)有樣品轉(zhuǎn)移軌道。操作倉手套箱長1200mm ，寬750mm，四手套位，該倉備有物料安放架，用于該設(shè)備工藝過程中應(yīng)用物品的擺放和存儲。另配進出樣品過渡倉。

    3.4

    		機架
    安裝手套箱及固定金屬化真空室和高頻封接真空室，機架安裝有腳輪，可進行位置移動，調(diào)整支撐支架即可固定。 

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